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  2021-03

  超高真空系统烘烤除气（四）

  超高真空系统大小及内部结构千差万别，很难用统一的烘烤程序满足各种不同用户的要求。用户首次进行超高真空系统运转调试时，应专门对系统的烘烤程序进行实验，包括不同的烘烤温度、烘烤时间、升温速率、降温速率、各部分温度以及各阶段的真空度等参数，制定合理的烘烤工艺参数。这···

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  2021-03

  超高真空系统烘烤除气（三）

  位于泵进气口处未能烘烤的部位是影响获得超高真空的重要因素，系统不能烘烤的部位面积与采用的真空泵类型有关，离子泵(卸掉磁铁)和分子筛泵可以整体烘烤，涡轮分子泵和制冷机低温泵能够局部烘烤100℃，扩散泵则完全不能烘烤。烘烤曲线表明开始加热后系统压力随加热温度上升

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  2021-03

  超高真空系统烘烤除气（二）

  除了真空室需要高温烘烤外，常用的超高真空泵，例如涡轮分子泵、溅射离子泵、钛升华泵、低温泵等在允许的温度下也应对泵本身进行烘烤。超高真空计烘烤后可使测量更精确，否则规管内材料的出气会对测量产生大的误差。在表面研究及某些生产工艺中，要求对试件(工件)及支架进行彻底···

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  2021-03

  超高真空系统烘烤除气（一）

  在真空技术中，“烘烤”术语是指真空系统运转过程中，将真空系统或系统中某一部件加热升温烘烤一段时间，烘烤阶段中系统内材料解析的气体用真空泵抽除，结束烘烤后再降到室温，从而缩短抽气时间，加快到达规定的真空度。此外，高温烘烤还可以清除部件表面油脂等的污染物。

• 26

  2021-03

  带冷阱的超高真空油扩散泵

  ①超高真空油扩散泵不能在大气压下工作，需要用粗抽泵将真空容器的大气抽至启动压力以下。油扩散泵配置的前级泵，在较低的前级压力下其排气量应大于扩散泵的最大排气量，用以减少反扩散的概率。②运转油扩散泵一定要避免处于高温下的泵油与大气接否则会发生泵油的裂解、氧

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  2021-03

  CF真空法兰

  最常用的金属密封法兰是 ConFlat法兰，简称CF法兰。由垂直刀口面(垂直于垫圈)和70°倾角的第二斜边制成的刀口压入到厚约2mm的垫片中形成密封，压人深度为0.3~0.4mm。垫片材料为无氧高导铜，也可以使用镀银铜或镀铟铜。用含银量百分之几的铜合金可增加密···

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  2021-03

  金属真空法兰的设计要求

  设计金属法兰的基本要求是：①要求能提供性能良好的气密界面，通常靠高强度金属挤压软金属形成可靠的气密；②能满足法兰连接的机械强度和密封压力，并在后续的操作和烘烤中也能保持合适的密封压力。此外，还要考虑法兰装配定位法兰平面密封或凹槽密封在装配时表面的保护以及大气环···

• 25

  2021-03

  真空材料性能的重要技术指标

  超高真空系统用部件的真空性能的最重要指标是材料的出气速率。真空中吸附气体的脱附(出气)速率与空间气体压力、器壁温度有关，不断脱附的表面又不断被空间的气体分子污染，因此脱附速率随抽气时间呈指数率减，烘烤是降低材料的出气速率的主要手段，所以选用超高真空部件的材料必···

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  2021-03

  热电偶真空连接器的作用

  我们已经知道，热电偶依据正负极材料不同，可以分类为很多不同分度号的热电偶。那么对应的热电偶真空连接器引线也必须使用与之匹配的材质，这是一个难点；热电偶线如何快速接入连接器，特别是当真空室内测温探头比较多时，该如何布置并接线？这是第二个难点。

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  2021-03

  真空电极、真空连接器怎么接线？

  真空电极、真空连接器，从本质上来说是一种连接器，但与其他普通连接器不同的是被赋予了其真空密封的功能。目前市面上常见的真空电极、真空连接器品种，其技术参数都是重点关注真空密封性能，而忽视了该连接器接线使用时的不便。如何快速地接线并做好绝缘，并保持接触稳定，是一个···

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  2021-03

  金属密封的一般特性

  橡胶密封圈的主要缺点是不耐烘烤且在室温下放气量大，所以许多要求高温烘烤(>200℃)和只准使用低蒸气压(室温时蒸气压<10-10Pa)材料的超高真空系统装置，不能使用橡胶密封，而需用金属密封圈密封。金属密封圈有两个突出的优点：①放气远比橡胶少；②用···

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  2021-03

  真空干燥应力

  真空干燥与常压干燥不同，在真空干燥中物料不会产生干燥收缩。相反，很多物料干燥后会产生体积膨胀，膨胀的大小往往与物料种类、湿含量、干燥速度、干燥温度及真空度有关。膨胀是各向异性的，常呈现不同规律，目前还没有统一的描述膨胀系数的方法和公式。既然有干燥变形，就会产生···

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  2021-03

  真空密封的分类

  真空设备为了隔绝大气，它的各个零、部件的连接处，电源和信号的引入部、转动轴观察窗、大门、环境模拟的热沉端部及盖板等都应有可靠的真空密封。真空设备所用的密封性能是真空设备的重要指标之一，要求通过各种密封途径将漏气率限制在允许的范围内。为了确保真空设备要求的指标，···

• 18

  2021-03

  真空密封技术

  在真空密封中，发生漏气除材料本身、焊接(经检漏可以处理)之外，主要是金属面与密封垫之间的漏气，由于密封压紧不够，法兰表面粗糙度不恰当、管道热变形、机械变形以及振动等都会引起密封垫与法兰面之间发生漏气。此外，法兰连接后，由于螺栓变形、伸长以及密封垫长期使用后塑性···

• 17

  2021-03

  真空中的光导入

  能使光通过且能封闭真空的器件是真空窗口。真空系统中使用最多的是观察窗，用来监视真空腔体内部的状态或光源传输。观察窗和铅玻璃结合使用的情况下，不仅可以做观察用，还可以遮挡X射线。用在真空系统上的观察窗要承受约1kgf/cm2的压强，所以要充分考虑其强度，以免当面···

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  2021-03

  真空室的极限压力

  真空装置的极限压力(极限真空)是该装置真空室的主要参数。由于真空装置的种类繁多，故对极限压力的叫法亦有不同，例如：真空退火炉称极限压力为“冷态真空度”；真空检漏仪称“本底真空度”；有的空间模拟设备称“空载极限真空度”等。正因为真空科技工作者及非真空企业或公司对···

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  2021-03

  真空电极的结构形式

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  2021-03

  真空电极的密封设计要求

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  2021-03

  真空电极引入

  在真空室中有许多工艺需要向该室引入电极。通常做成电极导入部件(包括电极结构、引入导线)，利用真空静密封与真空室连接。这些导线与导线之间、导线与真空室壁之间应当满足电绝缘、真空密封和承受一定的电流负荷。电极引入线、电极密封材料的选择取决于工作电压、电流、频率、温···

• 13

  2021-03

  真空材料的表面净化和抛光

  真空材料的表面净化是为了清除表面吸附的油污，以减少材料在真空中的气体放出。真空材料表面净化的基本方法主要是有机溶剂清洗和超声波清洗。有机溶剂清洗时，常用的清洗液有软化水、乙醇、丙酮、金属清洗剂等。