金属真空法兰的设计要求

    设计金属法兰的基本要求是：

    ①要求能提供性能良好的气密界面，通常靠高强度金属挤压软金属形成可靠的气密；

    ②能满足法兰连接的机械强度和密封压力，并在后续的操作和烘烤中也能保持合适的密封压力。

    此外，还要考虑法兰装配定位法兰平面密封或凹槽密封在装配时表面的保护以及大气环境下的耐烘烤、耐腐蚀问题。

    目前，大都采用不锈钢和软金属(铜、铝、镍、金等)垫片组成金属连接法兰，它在烘烤出气时，温度对材料的蠕变性能在设计工作中应引起足够的注意。例如铜在300~400℃温度下可产生明显的蠕变，铝的蠕变温度较低，铟在室温下就会发生蠕变。蠕变在反复烘烤后的冷却阶段，最容易产生漏气。

    克服蠕变的方法是设计的金属法兰结构在烘烤后要有足够的回弹力，这样即使高温下产生蠕变，在结束烘烤回到室温后，不锈钢法兰仍有足够的密封力，确保气密性。此外，还应当注意高温引起的其他问题，如铟在足够高的温度下会腐蚀不锈钢，超高真空清洁的金属表面，在高温高压下可产生相互扩散焊带来的麻烦等。

（慧朴科技，huiputech）