CF真空法兰

    最常用的金属密封法兰是 ConFlat法兰，简称CF法兰。由垂直刀口面(垂直于垫圈)和70°倾角的第二斜边制成的刀口压入到厚约2mm的垫片中形成密封，压人深度为0.3~0.4mm。垫片材料为无氧高导铜，也可以使用镀银铜或镀铟铜。用含银量百分之几的铜合金可增加密封垫片的蠕变强度，同时使用高蠕变强度的螺栓并采取措施保持烘烤温度均匀，可改善大尺寸法兰的密封性能。

    CF法兰的性能指标为：最高允许烘烤温度450℃，反复烘烤后的漏率不大于10^-8Pa·L/s。为避免在超高真空条件下发生冷焊，装配时一般应在螺栓、螺母间涂覆二硫化钼润滑剂。密封垫圈推荐采用GB/T 5231-2001《纯铜加工产品化学成分》规定的T2M铜板或GB/T 14594-2005《无氧铜板和带》规定的TU2M无氧铜版制造，要求密封平面光滑平整，不能有划伤及影响密封性能的缺陷。

(慧朴科技，huiputech)