超高真空系统烘烤除气（四）

    超高真空系统大小及内部结构千差万别，很难用统一的烘烤程序满足各种不同用户的要求。用户首次进行超高真空系统运转调试时，应专门对系统的烘烤程序进行实验，包括不同的烘烤温度、烘烤时间、升温速率、降温速率、各部分温度以及各阶段的真空度等参数，制定合理的烘烤工艺参数。这里需要指出的是系统加热烘烤期间，应控制升温速率避免容器内压力过高，以至于超过真空泵最高工作压力，破坏泵的正常抽气功能。

    超高真空系统的密封材料是影响烘烤参数的重要因素，必须引起特别注意，金属密封出气速率低，可允许较高的烘烤温度，但不同热膨胀系数的差异在冷却到室温时，可能造成冷漏，对于一次性使用的密封圈，每次暴露大气需重新进行更换，可重复使用的金属密封，由于刀口错位或密封压力不当也容易引起漏气。橡胶密封垫圈更换方便，但出气率速大，不允许高温烘烤，即使采用氟橡胶，仍需维持胶圈在合理的温度范围进行烘烤。

    为了用橡胶密封圈获得10^-6Pa或更低的压力，需采用密封材料暴露在真空部位面积小并焊有水冷管和氟利昂制冷管的氟橡胶密封超高真空法兰，或采用带有氟利昂制冷管和双道氟橡胶密封圈的超高真空法兰，结束烘烤等到法兰冷却到室温后通氟利昂制冷，使法兰温度降低到-20~-30℃，同时对双道密封圈中间抽真空，可降低密封圈的漏气及放气速率。

(慧朴科技，huiputech)