橡胶密封圈的主要缺点是不耐烘烤且在室温下放气量大,所以许多要求高温烘烤(>200℃)和只准使用低蒸气压(室温时蒸气压<10-10Pa)材料的超高真空系统装置,不能使用橡胶密封,而需用金属密封圈密封。
金属密封圈有两个突出的优点:①放气远比橡胶少;②用它密封的系统和装置可以在高温下烘烤去气,因此能满足超高真空的要求。
金属密封也有很多缺点:
①金属密封圈弹性差,需要很大的密封力才能保障可靠的真空密封;
②重复使用性很差,有些金属密封圈只能使用一次;
③法兰密封面和刀口的粗糙度和配合精度要求高,很小的伤痕都能破坏密封,特别是大尺寸法兰加工很困难;
④密封圈和法兰材料的热膨胀系数相差较大,加热不均匀或密封结构设计得不正确,会引起局部变形而造成漏气。
(慧朴科技,huiputech)
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