真空室的极限压力

    真空装置的极限压力(极限真空)是该装置真空室的主要参数。由于真空装置的种类繁多，故对极限压力的叫法亦有不同，例如：真空退火炉称极限压力为“冷态真空度”；真空检漏仪称“本底真空度”；有的空间模拟设备称“空载极限真空度”等。正因为真空科技工作者及非真空企业或公司对极限压力的含义了解得不够全面，因而在对真空装置研制过程中或使用过程中带来不少麻烦。甚至有的企业因不懂真空装置抽气系统对极限压力的概念造成选购的真空装置不能使用。

    何谓极限压力？从真空系统及有关术语中可知极限压力的定义是：泵在工作时，空载干燥的真空容器逐渐接近稳定的最低压力，进而可得：泵指的是真空系统的主泵，空载干燥的真空容器(即真空室)内不放有工作状态的元器件，而且真空容器内的环境是干燥的空气或气体。它是在主泵经过相当时间的抽气而使真空容器逐渐接近的稳定的最低压力值。显而易见，真空系统所达到的极限压力是不受时间限制的。真空装置的极限压力越低，标志着该装置的真空系统设计是合理的，主泵的选择比较理想，是衡量真空装置技术水平是否先进的条件之一。在真空科技界，在某些情况下残余压力等于极根压力。而残余压力则是经过一定时间的抽气之后或真空过程结束后还有在于真空容器中的气体或气体混合物的气压。这是真空科学工作者在全面理解极限压力概念和残余压力时应注意的问题。

    真空室的极限压力通常总是低于真空抽气机组的极限压力。在抽气口附近泵有效抽速一定的条件下，真空室的极限压力正比于真空室的漏气和出气。

    如果真空室采用金属焊接结构形成，根据我国现有的氩弧焊工艺水平，单位长度焊缝漏率，一般取焊缝漏率为1.3×10^-4Pa·L/(s·cm)，此外，还应该考虑真空室各密封圈渗漏所引起的总漏率。

    出气主要指真空室材料表面的出气量，由真空室内表面积和不同材料在常温下的出气速率Pa*L/（s*cm）来决定。

    在设计真空系统时，漏气量主要由真空室的极限真空和工作压力来确定。一般选取低于工作状态下气体负荷（工艺生产中放出的气体量）的十分之一。

（慧朴科技,huiputech）