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  2021-03

  间断排气的作用原理

  低温容器的真空获得中，抽气通常都是连续进行的。研究发现长时间连续抽气对加速材料放气过程没有什么明显作用。因此，采用了间断抽气方法。间断排气的主要方法是，在容器内获得高真空的情况下，尤其是在绝热层内气体分子处于分子流状态时暂停抽气，待容器压力回升到一定值

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  2021-03

  真空镀膜的分类及特点

  真空镀膜室一种干法镀膜，已经开发了三四十种成膜方法，几乎能适应任何基板和沉积任何金属、合金和化合物。类型PVDCVD蒸发镀溅射镀离子镀低压CVD等离子体CVD光CVD方法电阻加热电子束高频感应激光反应分子束外延离子束辅助二极、三极、四极射频偏压对象靶磁控离子束···

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  2021-03

  稀薄气体传输现象的特点

  稀薄气体分子密度小，分子平均自由程大，分子之间的碰撞概率小，分子间的动量交换和能量交换都与常压气体不同，这便决定了稀薄气体传输现象具有它自己的特点。在稀薄气体中会出现扩散现象，但因气体分子间很少碰撞，扩散气体的分子不再走曲折的道路，而是以分子的速度直接

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  2021-03

  电真空工艺的清洁处理

  由于各种污染可以使电真空器件变质，影响使用寿命和可靠性，因而电真空工艺具有特殊性。一般而言，电真空器件所用的金属材料或零件在经过机械加工后都要进行去油。利用碱性溶液和有机溶剂都可以去除金属表面的油脂和其它脏物。在去油之后，如果金属表面还留有氧化物，则一般还要用···

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  2021-03

  真空炉的种类及原理

  真空电炉是一种金属冶炼设备，主要用于新型材料生产。真空电炉根据加热方式不同分为真空电阻炉、真空电子束炉、真空电弧炉、真空感应炉。真空电阻炉是利用电阻加热工件或材料的炉子，即在真空条件下，加热器通电产生的电阻热通过辐射加热工件或材料。&n

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  2021-03

  真空加热设备应该怎么选真空连接器？

  真空连接器有几个重要技术参数，即真空泄露率、工作温度范围、信号种类及数量、工作电压及电流等。真空加热设备的特点是能在真空环境下进行加热，在设计时应当充分考虑工艺特点，选用合适的真空连接器。首先要确定工作真空度及泄露率要求，真空连接器由于制造工艺不一样，选用的密···

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  2021-03

  超高真空系统烘烤除气（四）

  超高真空系统大小及内部结构千差万别，很难用统一的烘烤程序满足各种不同用户的要求。用户首次进行超高真空系统运转调试时，应专门对系统的烘烤程序进行实验，包括不同的烘烤温度、烘烤时间、升温速率、降温速率、各部分温度以及各阶段的真空度等参数，制定合理的烘烤工艺参数。这···

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  2021-03

  超高真空系统烘烤除气（三）

  位于泵进气口处未能烘烤的部位是影响获得超高真空的重要因素，系统不能烘烤的部位面积与采用的真空泵类型有关，离子泵(卸掉磁铁)和分子筛泵可以整体烘烤，涡轮分子泵和制冷机低温泵能够局部烘烤100℃，扩散泵则完全不能烘烤。烘烤曲线表明开始加热后系统压力随加热温度上升

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  2021-03

  超高真空系统烘烤除气（二）

  除了真空室需要高温烘烤外，常用的超高真空泵，例如涡轮分子泵、溅射离子泵、钛升华泵、低温泵等在允许的温度下也应对泵本身进行烘烤。超高真空计烘烤后可使测量更精确，否则规管内材料的出气会对测量产生大的误差。在表面研究及某些生产工艺中，要求对试件(工件)及支架进行彻底···

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  2021-03

  超高真空系统烘烤除气（一）

  在真空技术中，“烘烤”术语是指真空系统运转过程中，将真空系统或系统中某一部件加热升温烘烤一段时间，烘烤阶段中系统内材料解析的气体用真空泵抽除，结束烘烤后再降到室温，从而缩短抽气时间，加快到达规定的真空度。此外，高温烘烤还可以清除部件表面油脂等的污染物。

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  2021-03

  带冷阱的超高真空油扩散泵

  ①超高真空油扩散泵不能在大气压下工作，需要用粗抽泵将真空容器的大气抽至启动压力以下。油扩散泵配置的前级泵，在较低的前级压力下其排气量应大于扩散泵的最大排气量，用以减少反扩散的概率。②运转油扩散泵一定要避免处于高温下的泵油与大气接否则会发生泵油的裂解、氧

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  2021-03

  CF真空法兰

  最常用的金属密封法兰是 ConFlat法兰，简称CF法兰。由垂直刀口面(垂直于垫圈)和70°倾角的第二斜边制成的刀口压入到厚约2mm的垫片中形成密封，压人深度为0.3~0.4mm。垫片材料为无氧高导铜，也可以使用镀银铜或镀铟铜。用含银量百分之几的铜合金可增加密···

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  2021-03

  金属真空法兰的设计要求

  设计金属法兰的基本要求是：①要求能提供性能良好的气密界面，通常靠高强度金属挤压软金属形成可靠的气密；②能满足法兰连接的机械强度和密封压力，并在后续的操作和烘烤中也能保持合适的密封压力。此外，还要考虑法兰装配定位法兰平面密封或凹槽密封在装配时表面的保护以及大气环···

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  2021-03

  真空材料性能的重要技术指标

  超高真空系统用部件的真空性能的最重要指标是材料的出气速率。真空中吸附气体的脱附(出气)速率与空间气体压力、器壁温度有关，不断脱附的表面又不断被空间的气体分子污染，因此脱附速率随抽气时间呈指数率减，烘烤是降低材料的出气速率的主要手段，所以选用超高真空部件的材料必···

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  2021-03

  可伐合金的焊接

  可伐合金的焊接性能很好，镀镍后进行焊接，仍能获得良好的气密性。焊前应当对可伐合金零件进行去应力退火，防止由应力引起的热裂缝。由于可伐合金的热阻较大(热导率小)，导热很慢，当金属陶瓷、金属玻璃封接件与可伐合金零件进行氩弧焊时，焊缝应距陶瓷或玻璃的封接面5~6mm···

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  2021-03

  铜和不锈钢的焊接

  铜的热导率高，散热快，焊接比较困难。最好使用铜合金(0.75%锡，0.25%硅，0.2%锰)填料焊丝进行焊接。用氩弧焊可以把铜焊在不锈钢上，但需要使铜高出焊缝一个适当的高度，焊接时使电弧偏向铜的一边，使铜形成一个熔化边。铜的膨胀系数大，焊后的变形也大，所以要防···

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  2021-03

  常用金属的真空钎焊

  无氧铜及其合金的钎焊可在氢炉或真空炉中进行。常用焊料有Ag100、Ag90Cu10、Ag72Cu28.但也可用金铜、金镍、锗镍、银铜钯等。铜与铜合金在钎焊前镀银或金，钎焊性能更好。对于含有易氧化的铬、铝、铍、钛、锆的铜合金，焊前必须进行电镀，并在真空炉中进行钎···

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  2021-03

  真空钎焊工艺规范

  常用材料的钎焊规范包括钎焊温度、升温速度、钎焊保温时间降温速度等。钎焊温度一般应比焊料的流点温度高20~100℃。焊接温度过低，影响焊料的流动性，过高则将引起焊料流失，并使基金属和焊料的组织和化学性能发生变化。钎焊升温速度主要取决于基

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  2021-03

  真空钎焊常用焊料

  真空钎焊常用焊料有：a.银焊料。纯度应大于99.99%，熔点和流点均为960.5℃，可钎焊镍、可伐合金等。b.银铜焊料。常用的有Ag72Cu28和Ag50Cu50两种焊料。Ag72Cu28是银铜共晶合金，熔点、流点均为779℃，具有良好的流动性、导热性、导电性···

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  2021-03

  真空钎焊

  真空钎焊