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限制极限真空压力的因素(四)——返流

Clicks:1535 Update time:2023-04-11

    真空泵体内的气体或蒸气流返回到真空室里的现象叫做返流。在极高真空系统中,由于真空室的压力低于抽气泵的极限压力,返流对极限压力的影响尤为显著。

    对极高真空系统来说,所有的真空泵都是气源。为了减少泵对真空室的返流,利用真空泵的抽气能力,在真空泵和真空室之间需连接一个阱以阻挡气体的返流。由于目前真空泵的极限压力较高,因此,在极高真空系统中,阱的设计是极为重要的。设计的重点在提高阱的捕获系数。

    在使用扩散泵的真空系统中,还有一个反扩散的问题。在扩散泵中气流不仅发生在抽气方向上,而且有少量的气体分子沿蒸气流的反方向流动,发生由低真空端向高真空端的扩散,这种现象叫做反扩散。反扩散的程度与扩散泵的压缩比有关,压缩比越大,反扩散越小,而压缩比又与气体质量有关,轻的气体压缩比要比重的气体小得多。对高真空系统来说,反扩散的影响并不重要,但对超高真空系统就必须考虑反扩散对极限真空的限制。如果采用扩散泵获得极高真空,就需要将两个扩散泵串联起来,使前级扩散泵降低主扩散泵的出口压力,因而降低了主泵的反扩散,实验证明,用这种方法可以改善极高真空系统的极限真空。

    

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