1)抽气情况不良。即抽气系统本身存在问题。比如:扩散泵工作不正常,这可能是由于泵油过多或过少,泵加热功率不合适,泵油氧化或太脏,泵冷却效果不良,机械泵油太脏或含水量高,内部零件磨损或划伤,反扩散增大等原因造成。
2)放气。真空系统或容器内部存在气体或蒸气源。主要是真空清洁处理(清洗、干燥)不良,材料选择不当或设计有死空间等原因引起。
3)漏气。主要由于焊接加工或安装不良,低温下密封圈失去弹性或压缩量不足,不清洁等原因造成。
(慧朴科技,huiputech)
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