真空检漏的术语

漏气——气体通过装置、容器上的漏孔或间隙，从高压侧流到低压侧的现象叫漏气，也叫实漏。

虚漏——在系统内，由于气体或蒸气的放出所引起的压力增加现象。

渗漏——气体通过材料从高压侧渗到低压侧的现象。

检漏——检测漏气部位及漏率大小的过程。

漏孔——气体在压力或浓度差的作用下，从器壁的一侧通到另一侧的孔洞、缝隙、渗透元件或封闭容器上的其他结构。

漏率——在规定条件下，一种特定气体通过漏孔的流量。

冷漏——仅当设备冷却时才明显表现出来的漏孔，当温度恢复室温后漏气现象也随之消失。

超漏——是一种特殊的冷漏现象，仅当低于液氦1转变为液氦Ⅱ的温度的液氮才出现的漏气现象。在2.19K以下的液氮Ⅱ，能以大于2.19K以上的几个量级的流动速率泄漏。

标准漏孔——在规定的条件下，漏率已知的一种校准用漏孔。

探索(示漏)气体——用来对被检件进行检漏的气体。

通道漏孔——可以把它理想地当作长毛细管的通道组成的一种漏孔。

薄膜漏孔——气体通过渗透穿过薄膜的一种漏孔。

检漏仪——用来检测被检件漏孔位置及漏率大小的仪器。

检漏仪的最小可检漏率——当存在本底噪声时，将仪器调到最佳工作状态，纯示漏气体通过漏孔时，检漏仪所能检出的最小漏率。

有效最小可检漏率——当存在本底噪声时，将检漏仪及其外部检漏系统调整到具体检漏工作状态(允许有分流)，当示漏气体通过被检件上的漏孔时，全部(或部分)示漏气体进入检漏仪，在此情况下所能检出的最小漏率。

反应时间——从示漏气体施加到漏孔进气端开始，到检漏仪净偏转达到最大漏气信号的63%所经历的时间。可以认为它与漏孔大小及施氮浓度无关。

观察时间——从示漏气体施加到漏孔进气端开始，到检漏仪净偏转达到最大漏气信号的90%所经历的时间。

灵敏度——检漏仪对示漏气体泄漏的响应(即单位漏率显示的表盘刻度值)。

（慧朴科技，huiputech）