超高真空指的是真空度小于10-5Pa的真空。真空室一般由金属材料熔炼或铸造而成,里面溶入了空气中的氢、氧、氮和碳的氧化物,而且壳体表面还会吸附水蒸气等大量气体。这些因素都会导致真空环境下的气体虚漏。
1 在烘烤温度下,材料能保持机械性能,壳体材料能承受外部大气压力
2 材料在烘烤温度下蒸汽压要低
3 材料的渗透气体量不能超过允许值
4 材料加热时不易变形
5 材料表面容易抛光
适于超高真空的通用材料有:
不锈钢,常用于壳体、管道、法兰以及各种真空元件。
玻璃,用于封接真空电极引入线、制作规管管壳或观察窗等。
陶瓷,用于真空电极的绝缘子。
可伐,用于制作与玻璃或陶瓷封接件。
金银铜铝,用于制作密封圈。
氟橡胶,用于制作密封圈。
(慧朴科技,huiputech)
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