如何选择真空计？真空计的原理

    目前市面上主流的真空计有四种：皮拉尼真空计、电容薄膜规、热电离规、冷电离规（潘宁规）。下面我们分别介绍这四种真空计的原理及特点。

    皮拉尼真空计：它的原理是加热电阻丝，使电阻丝升温至需要的工作温度。由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时会带走能量，电阻丝的温度会发生变化。热电阻丝的能量损失与其周围的气体浓度以及气体成份成比例关系。由此又衍生出两种类型的皮拉尼规，第一种是温度稳定，测量电压变化；第二种是电压稳定，测量温度变化。对电阻丝在不影响精度与速度的情况下加以最大保护，能够大大延长电阻丝的使用寿命。

    皮拉尼真空计测量范围一般为5x10^-4~1000mbar。一般用于各种高真空泵的前级压力测量，如光伏、镀膜、等离子行业等，也用于各种中低真空测量。

    电容薄膜规：它的原理是利用真空压力，压力使膜片变形，变形量与压力大小成比例关系，通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量来测量真空度。这种真空计能在严酷和腐蚀性环境中，提供稳定可靠的高精度压强测量，它具有快速的预热和恢复时间，卓越的长期稳定性、再现性和重复性，对环境条件变化的敏感度降低。

    电容薄膜规一般用在要求比较高的、精确而快速的测量，如刻蚀、半导体等。

    热电离规：它的原理是利用高温灯丝发射高能量的电子撞击气体分子，气体分子的一个或多个电子被撞击出去，形成带正电的离子，离子流的大小与气体压力成比例关系。

    热电离规一般与皮拉尼规或薄膜规复合在一起，具有测量范围宽，普遍应用于从低到超高真空的测量，在工业、半导体、科研单位应用广泛。

    冷电离规（潘宁规）：它的原理是通过气体放电方式产生电子，再通过磁场使电子获得能量将气体分子电离，离子流的大小与气体压力成比例关系。

    冷电离规的测量范围为5x10^-9~1x10^-2mbar，全金属密封，无灯丝，易清洗，应用于普通的高真空测量。

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