真空下运动导入

    运动传导结构是用来向真空室中传递各种运动，以实现真空室中机构的运动，满足所进行的工艺过程的需要。要求这种运动传导结构既能向真空室中传递运动，又要保证真空密封。

    运动传导结构传递的运动形式一般有以下几种：(1)传动轴的转动；(2)传动轴的往复直线运动；(3)传动轴的摆动。

    运动传导结构按照动密封方式分类有：(1)真空橡胶密封可动传导；(2)金属波纹管密封可动传导；(3)液态金属密封可动传导；(4)间隙密封传导；(5)磁力传动传导；(6)磁流体密封可动传导；(7)橡胶隔膜密封可动传导。

    在选择运动传导密封形式时，应注意下列事项：

    (1)从传动密封处漏入真空室中的气体量对工作压力的影响。此气体量值包括密封处漏气量、元件表面放气、高温下薄壁零件(波纹管)的渗漏；

    (2)在真空室工作温度范围内，传动轴即密封元件能否正常工作；

    (3)传递运动形式(直线、旋转、摆动)及传动精度；

    (4)真空中从动部件的最大速度、位移以及密封轴的转速；

    (5)使用方便、易更换易损零件，工艺性好，成本低。

（慧朴科技，huiputech）