对真空设备壳体材料的主要要求如下:
1 一定的机械强度
2 气密性好,不应是多孔结构,不能有裂缝、小孔以及能造成漏气的其他缺陷
3 较低的出气率和渗透率
4 在工作温度和烘烤温度下的饱和蒸气压要足够低
5 化学稳定性好,不易氧化和腐蚀,不与系统中的工作液体发生化学反应
6 温度稳定性好,在一定温度范围内能保持真空性能和机械强度
7 加工容易,有较好的焊接性能
真空设备常用壳体材料有两大类:金属和玻璃。
金属的优点是:机械强度好,容易实现高精度的加工。
玻璃的优点是:透明,便于观察设备内部情况,电绝缘,可对内部的金属零件用高频加热的方法除气,能用高频火花枪检漏,加工方便等。
玻璃的缺点是质脆易碎。
(慧朴科技,huiputech)
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