真空材料之结构材料

    结构材料是构成真空系统主体的材料，包括壳体材料和真空系统内部的各种结构和机构所用材料，真空系统的主体包括：真空室、真空泵、真空元件、真空规管等，其中壳体将真空与大气隔开，承受着大气压力。

    常用结构材料主要是金属和玻璃，还有一些管道使用真空橡胶管或有金属加强的塑料管，金属机械强度好，玻璃透明，便于观察设备内部的情况；电绝缘，可从外部对内部的金属零件采用高频加热；能用高频火花枪检漏,加工方便等。但玻璃材料质脆、易碎，不容易制作成较大容积的容器。目前大多数真空系统都使用金属材料。使用波纹管、金属盘管、真空橡胶管或有金属加强的塑料管，可以实现两部件之间的软连接，安装方便，隔绝震动，而且价格便宜。

    结构材料应符合以下要求：

    a足够的机械强度和刚度，对于壳体应能承受大气压力，对于内部构件,应具有需要的强度；

    b具有可加工性，并容易封接、焊接；

    c具有足够的气密性，要求材料不存在孔状结构，无裂缝、气泡及其他可能导致漏气的缺陷；

    d足够低的饱和蒸气压；

    e材料内部溶解的气体和表面吸附的气体量足够小；

    f足够小的气体渗透率；

    g化学稳定性好，在工作条件下不分解，不与其他材料发生不需要的化学反应；

    h热稳定性能好，在系统工作温度下，具有需要的力学性能和真空性能；

    i对于超高真空系统应能承受必要的烘烤，且容易去气；

    j与系统的工作要求兼容，不影响系统的其他性能。

(慧朴科技,huiputech)