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真空系统密封程度分析及漏气率确定

Clicks:2123 Update time:2023-10-25

    对真空设备或真空系统要求绝对不漏气是不可能的。因此对真空系统进行密封程度的分析,找出并消除大漏孔的存在,确保真空系统的正常运转,是真空技术工作中一项必不可缺的重要内容。

    如果真空系统经过一段较长时间抽气后,仍然达不到预期的真空度要求,其原因主要有三个方面,即真空泵性能不佳,达不到要求;系统内表面及真空室内构件的出气过大;真空室某部位存在漏孔。为了鉴别这些因素对真空度的影响程度,可采用静态升压法对真空系统进行检漏试验。其过程是,将真空室抽成真空,然后关闭真空阀使真空室与真空泵隔开,测量真空室内压强随时间的变化,即可得到如图所示的压强p随时间τ的变化曲线。

image.png

    直线a表明压强不随时间延长而变化,说明真空室既不漏气也不放气,如真空室内压强达不到设计要求,一定是泵的抽气性能不良,这时对系统是不需要检漏的;

    曲线b开始时压强上升而后逐渐趋向不变,这说明真空室内存在着放气源,如果是蒸汽,则压强值可达到其饱和蒸气压;

    斜线c显示压强随时间直线上升,说明真空室内存在着漏孔产生漏气;

    曲线d说明压强开始上升较快,后来变缓慢但不出现饱和现象,这说明真空室内同时存在放气和漏气两种气源,d的曲线部分是由于放气的存在,而直线部分只有漏气存在,这时放气已达到饱和状态。

    由于真空检漏技术中所指的漏孔是极其微小的,漏孔截面的形状很不规则,漏气的路径也各不相同,因此,通过漏孔的几何形状来表达漏孔的大小是不可能的。但是由于漏孔的本身就是漏气,即在压力差作用下,有气体通过漏孔流动,因此用漏气率来表示漏孔的大小是非常确切的。所谓漏气率,就是露点低于-25℃的空气,入口压力为标准大气压,出口压力低于105Pa,温度为23℃±3℃时空气通过漏孔的流量。漏气率的量纲与流量完全相同,其单位通常用Pa·m³/s来表示。


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