极高真空系统开始抽气以前,容器及管道、冷阱等部件内预先贮存有一定量的气体。
若用一定抽速的泵来排除容器内原有的气体,其压力随抽气时间呈指数递减。系统如果没有其他气源,仅有原存的气体,一个对该种气体具有小的抽速可以很快地抽走容器内的这种气体分子。随着抽气时间的增加,容器内压力不断降低,可以达到很低的压力,因而它不是限制系统极限压力的因素。
重要的是在选配真空机组时要注意到对每一种原有气体的成分都保持有一定的抽速。极高真空的抽气泵对气体具有强的选择性,因此,对气源必须进行个别的分析,即不仅要知放气量,而且要知道放气成分。同时,泵的选择也要根据放气量及放气成分来选配,这是极高真空系统选择主泵应特别注意的问题。选择单一抽气手段是不行的,必须综合考虑,全面地搭配,才能达到这个目的。为了解决这个问题,也可以使用冲洗系统中原有气体的方法,即用一种容易被机组排除的气体反复地冲洗系统以置换掉机组难以排除的气体,也有助于降低极限压力。但由于系统本身的泄漏、渗透、放气以及化学反应等,还有可能继续产生这种气体时,用冲洗系统的方法只能在系统开始启动时使用。如果机组对这种气体没有一定的抽速,也会因这种气体余压力影响系统的极限压力。
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