橡胶密封的主要缺点是不耐烘烤,并且在室温下产生较大的放气量,影响真空获得。
用耐高温的氟橡胶或氟塑料,但它们的烘烤温度也不超过150~200℃,否则要采用水冷装置,同时它们的放气量也大于金属密封圈,而且还含有碳氢化合物分子。因此当真空系统要求烘烤温度大于200℃时,或只允许使用低蒸汽压(室温时小于1.33×10-2Pa)的密封材料时,不能使用橡胶密封,而需要采用金属密封材料。
金属密封的主要优缺点有:
(1)放气量远比橡胶少。
(2)金属密封系统和装置可以在高温下烘烤去气,因此可以满足超高真空的要求。
(3)金属密封材料弹性差,需要很大的密封力才能保证可靠的真空密封。
(4)金属密封材料重复使用性差,有些金属密封圈只能使用一次。
(5)金属密封法兰的密封面和刀口必须有较高的光洁度和精度,很小的刀痕都会破坏密封性能。
(6)金属密封材料和法兰材料的热膨胀系数相差较大,加热不均匀或密封结构设计不合理,都会引起局部变形而造成漏气。
(慧朴科技,huiputech)
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