气体种类对真空测量的影响

    (1)气体种类对测量读数的影响。

    对于弹性元件真空计和电容薄膜真空计等直接测量真空计，其测量结果为气体和蒸汽的全压力，且与气体种类无关。而对于热传导真空计和电离真空计等间接测量真空计，其测量结果与气体种类及组分有关，因此对其读数需要考虑加以修正。

    如果被测气体是氮气、惰性气体或较为纯净的空气，那还比较简单，因为普通真空计出厂前都是以此为基准标定的，实际测量的读数值就是其真实压力值。但在许多情况下，被测气体往往是空气、特殊的工艺放气、水蒸气、油蒸气等多种气体和蒸汽的不同组合，从而会影响相对真空计的测量结果。因此，通常引入相对灵敏度的概念，针对不同气体加以修正。

    (2)气体种类对真空规的影响。

    被测气体中的各种蒸气，还会对真空规造成影响，其中尤以氧气、水蒸气、油蒸气等组分对真空计的影响严重。采用电阻真空计测量时，氧气和水蒸气会氧化规管热丝，改变热丝的表面状态；油蒸气附在规管的热丝和管壁上，会改变表面性能，因此都将引起规管零点漂移和灵敏度的改变，导致读数不准。采用高压力热阴极电离真空计测量时，氧气和水蒸气会明显损耗规管的热阴极；油蒸气在高温阴极表面或电子轰击下分解生成的碳氢化合物，会污染电极和规管壁，使规管灵敏度和特性发生明显的变化。因此在粗低真空区，测量氧气、水蒸气或油蒸气的压力，通常采用电容式薄膜真空计。

(慧朴科技，huiputech)