各类真空计性能及参数

力

重力

液体真空计

汞柱压力计

10⁵~10²

10%

几秒

①

基准汞柱压力计

10⁴~10(10^-1)

油柱压力计

10³~10

1%

几秒至几分

基准油柱压力计

10²~10^-2(10^-3)

压缩式真空计

10³~10^-1(10^-6)

＜3%

几分

①④

机械力

变形计

弹簧管真空计

10⁵~10³

10%

几秒

①

膜盒真空计

10⁵~10²

＜10%

几秒

薄膜电容真空计

10³~10^-2

＜1%

＜1s

②

薄膜应变真空计

10⁵~10²

①

阻尼力

黏滞计

振幅衰减真空计

1~10^-3

10%-100%

几秒

-

磁悬转子真空计

1~10^-4

-

-

-

振膜真空计

10⁴~10^-1

≤±2%

＜1s

-

分子力

热辐射真空计

1~10^-5

＜10%

几秒至几十秒

②

气体分子热传导（热传导真空计）

电阻真空计

10²~10^-1(10^-2)

10%~100%

定温型约1s

③

热偶真空计

10²~10^-1

几秒

半导体真空计

10²~10^-3

几秒

热电堆真空计

10²~10^-1

-

气体对流

对流真空计

10⁵~10²

-

-

气体电离

荷能粒子

热阴极计

电离真空计

10^-1~10^-5

10%~20%

10^-3s

③

中真空电离真空计

10²~10^-4

B-A电离真空规

10^-1~10^-8

热阴极磁控计

10^-5~10^-11(10^-13)

放射源（α）电离真空计

10⁴(10⁵)~10^-1

10%

0.1s

自持放电

冷阴极计

潘宁计

1~10^-4

20%~50%

0.1s

反磁控真空计

10^-2~10^-9(10^-11)

10~10^-3

正磁控真空计

10^-2~10^-8

10²~10^-3

放电管真空计

10²~10^-1

-

＜1s