真空室内的气体组成

    (1)真空室内的大气

    (2)真空室内的表面放气，也称为表面解析气体，该放气量与材料种类、温度、压强和抽气时间等因素有关，可用实验得到的材料放气率数据进行近似计算。

    (3)漏气，主要是通过真空室的动密封和静密封处泄漏的气体量。漏气率一般用压力增长率即升压率表示。

    (4)耐火保温材料的放气，根据保温材料的种类和用量，可用实验数据计算其放气量。

    (5)工艺过程中被处理材料的放气，该放气量往往是真空系统排气的主要气体负荷，因此应当了解工艺过程中产生气体的特征。工艺过程中的放气主要由如下过程产生：

    ①溶解在金属中的气体直接排出(如氮和氢从熔融金属中排出，氢从固体钛中排出)，原因是室内温度升高和压力降低，气体在金属中溶解度下降，所放出的气体与生产率和时间有关。释放速率受金属熔炼和处理方法的影响。

    ②化学反应生成气体化合物排出。如碳和溶解的氧生成氧化碳气体，或者碳还原金属氧化物生成氧化碳气体排出。这样产生的气体与压强、温度、时间和生产率都有关系。

    ③化合物分解产生气体排出。如氢化物、氮化物、氧化物等分解产生气体氢、氮和氧。分解出的气体与温度、压力、时间和生产率有关系。

    此外，为了控制金属熔炼工艺而引人的气体也需要泵排出。如引入氦、氩或其它气体作为熔融金属的搅拌手段等。

    工艺过程中材料放气的计算比较复杂，目前还不能精确地计算，只能根据实验值近似计算。

（慧朴科技，huiputech）