抽真空检漏法

静态升压法

静态压力上升

真空计

10^-2~10^-3

放电管法

放电颜色改变

放电管

1~10^-1

高频火花检漏器法

10³~5x10^-1

亮点，放电颜色改变

高频火花检漏仪

1~10^-1

热传导真空规法

10³~5x10^-1

真空计读数变化

热偶或电阻真空计

10^-3

电离真空规法

10^-2~10^-6

电离真空计

10^-6

差动热传导真空规法

10³~10^-1

热传导真空计差动组合

10^-4

差动电离真空规法

10^-2~10^-6

电离真空计差动组合

10^-7

具有吸附阱的热传导真空规法

热传导规液氮活性炭阱

10^-4

具有吸附阱的电离真空规法

冷阴极电离规，液氮硅胶阱

10^-7~10^-10

氢钯法

50~10^-5

氢通过钯管使真空计读数变化

钯管、电离真空计

10^-4~10^-8

卤素检漏仪内探头法

10~10^-1

仪表读数变化

卤素检漏仪

10^-4~10^-6

离子泵检漏法

10^-4~10^-7

离子流变化

离子泵本身

10^-6~10^-9

氦质谱检漏仪法

10^-2

输出表及音响频率变化

氦质谱检漏仪

10^-7~10^-9

四极质谱计分析法

10^-2

输出表及音响频率变化

四极质谱计

10^-9