几种材料的常温出气速率

    下表列出了几种材料烘烤前后常温出气速率的大致情况。大多数有机材料出气的主要成分是水汽，而且出气速率比较高，随时间的衰降也比较慢，所以这类材料不宜用于超高真空。但是由于它们价格便宜、弹性好，而且具有各种合适的物理和化学性能，所以在>10^-6Pa的动态真空系统中常被采用。聚四氟乙烯、维顿A、聚酰亚胺等可耐较高温度的烘烤，出气速率也比较低，尤其是聚酰亚胺烘烤后的出气速率低达4×10^-9Pa*L/s*cm³，所以这几种有机材料可用到>10^-6Pa的超高真空中。

    金属、陶瓷、玻璃的出气速率比较低，而且随时间的衰降也比较快，玻璃和陶瓷出气的主要成分也是水汽，其次有一氧化碳和二氧化碳，玻璃有一层特殊的表面层，此表层水汽的扩散系数比内部要大得多，常温下玻璃的出气主要来自这一表面层，用氢氟酸腐蚀掉这个表层，出气就可以减少。

    金属与玻璃类似，常温出气主要来自表面氧化膜吸收的水汽，因而经过烘烤以后常温出气速率大大降低。玻璃烘烤时表层的水可以完全去除，而且在升温过程中出气分两个阶段，开始放出的大部分气体来自表层，而更持久的出气是由体内扩散出来的(仍以水汽为主)。金属烘烤时表面氧化膜的水汽也可以基本除净，出气主要受体内扩散出来的气体控制，来自体内的出气成分是H2、N2、C_nH_m、CO、CO₂、O₂，一般以H2居多。

    下表列出了几种材料的常温出气速率。

（慧朴科技，huiputech）