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用于真空技术的几种陶瓷的性能见下表：
类别 | 主要成分 | 线膨胀系数，x10-7/K | 软化温度，℃ | 抗张强度，Pa | 密度，g/cm3 |
块滑石 | MgOSiO2 | 70~90 | 1400 | 6x107 | 2.6 |
镁橄榄石 | 2MgOSiO2 | 90~120 | 1400 | 7x107 | 2.9 |
锆石 | ZrO2SiO2 | 30~50 | 1500 | 8x107 | 3.7 |
85%氧化铝 | Al2O3 | 50~70 | 1400 | 14x107 | 3.4 |
95%氧化铝 | Al2O3 | 50~70 | 1650 | 18x107 | 3.6 |
98%氧化铝 | Al2O3 | 30~70 | 1700 | 20x107 | 3.8 |
微晶玻璃9606 | - | 57 | 1250 | 14x107 | - |
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